请问:椭偏仪的原理以及椭偏行业前沿技术,哪个厂...
2、椭偏仪测薄膜厚度的基本原理:电磁阻抗原理。交流阻抗也叫做电化学阻抗谱(Electrochemical Impedance Spectroscopy,简写为 EIS),早期的电化学文献中称为交流阻抗(AC Impedance)。
3、椭偏仪12是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。
4、因此可以作为分析工具使用。对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感。